城隍的观念源自道教，其后与儒教结合相互影响。《说文解字》曰：“城，以盛民也”，“隍，城池也。有水曰池，无水曰隍”。最早记载城隍的是《周易》：「城复于隍，勿用师」。《易经》中又言：「城复於隍，其命乱也」，在这所说的「城」是指「城廓」、「城壁」、「城墙」，「隍」则是「城堑」，指城外护城的壕沟，也就是指「护城河」，「城隍」的意义就是防守城池的护城河。其意是指如果城墙倾覆时，是为乱兆，为政者应应息武止戈，不可穷兵牍武。最早祭城隍只筑土坛，无庙无像。正如《凤山县志.祀典志》所载：「城隍庙无专祭，而水旱、疾疫必祷之，致敬、宿斋必告之；故立之庙，使神有所凭依也。」。设置城隍庙祭祀，大抵从道教成为民间信仰才出现。
唐代奉祀城隍神已较盛行《太平广记》卷三百三“宣州司户”条引《纪闻》称，唐代“吴俗畏鬼，每州县必有城隍神”，唐代地方守宰多有撰祭城隍文，祭祀城隍神者。开元五年（717）张说首撰《祭城隍文》其后张九龄、许远、韩愈、杜牧、李商隐等继之。李阳冰、段全纬、吕述等撰有“城隍庙记”杜甫、羊士谔有“赛城隍诗”。
城隍崇拜可追溯到周朝，是除夕要祭祀八个神之一，水庸。据《礼记》所载，古代皇帝祭祀「八蜡」中的「水庸」，就是祭祀城隍。相传三国时代的吴国曾建城隍庙；另在《北齐书》记述，北齐大将慕容俨就曾于郢城拜城隍神祠而战胜了南梁敌军。而《隋书.五行志》记载：「梁武陵王纪祭城隍神，将烹牛，忽有赤蛇绕牛口。由此可知，在南北朝的城隍普遍为民间信仰。
由汉代开始，城隍的祭祀活动不断提升，更尊封已死功臣为城隍，其中有：霍光和纪信等。唐代祭祀城隍为求晴祈雨、招福避祸、禳灾诸事，已出现祭城隍文。撰文的不乏著名人士，其中有：韩愈、杜牧和李商隐等。到宋代，由于祭祀城隍列入国家祀典，故城隍庙普及各府、州和县。北宋欧阳修所写的祭城隍文：「雨惟神有灵，可与雨语，吏竭其力，神佑以灵，各供其职，无愧斯民」，显示了当时官吏们对城隍的敬重和互赖关系。 其后的元朝，除在京都建城隍庙外，更封城隍为「佑圣王」。
到明代时，明太祖对城隍特别崇敬，曾亲诏刘三吾：「朕设京师城隍，俾统各府州县之神，以鉴察民之善恶而福祸之，俾幽明举，不能幸免。」明太祖更册封京都、府、州、县四级城隍，各级城隍神都有不同爵位和服饰，各地最高官员需定期主祭。及至清代，祭城隍同样列入祀典，城隍的地位更崇高。但凡新官到任前需到城隍庙斋宿；上任日，更需在城隍前完成祭礼才能就任。由此观之，城隍的职能随时代变迁，已由起初有求必应的神明转变为地位超然的国家和地方守护神。
